然大物——极紫外光刻机(EUV)。
它周身覆盖着复杂的冷却管道和闪烁着幽蓝光芒的传感器,像一头蛰伏的钢铁巨兽,核心的真空腔体正发出低沉而持续的嗡鸣。
倪老,这位年近八旬的泰斗,背脊依旧挺得笔直,但花白的头发下,眼袋深重,皱纹里刻满了疲惫。
他佝偻着腰,布满老年斑的双手稳稳地托着一块刚刚从光刻机上取下的晶圆,凑近高倍电子显微镜的目镜。
他的动作缓慢而精确,带着一种朝圣般的虔诚。
屏幕上,纳米级的世界在眼前铺开。纵横交错的电路图案在硅基板上延伸,精细到令人头皮发麻。
然而,在某个关键的连接节点处,显微镜视野下清晰地显示出一片细微的、不规则的烧蚀痕迹——一道死亡般的“黑线”。
“又失败了。”
倪老的声音嘶哑,带着一丝不易察觉的颤抖。他缓缓直起身,摘下老花镜,用力揉了揉眉心。
连续三十六个小时钉在这台机器旁,他的体力已逼近极限,但眼神里的火焰却烧得更旺。
这该死的、逼近物理极限的1纳米节点,每一步都像是在刀尖上跳舞。
“倪老!”一个同样沙哑声音响起。凯文,这个团队里最富冲劲的天才,此时也已经年仅六旬,他顶着鸟窝般的乱发,手里挥舞着刚从超级计算机跑出来的模拟数据报告,几乎是冲了过来。
“模型结果出来了!问题很可能出在光刻胶的链式反应上!能量剂量和曝光时序的耦合效应比我们预想的还要敏感!尤其是这个‘拐点’……”
他指着报告上一条陡峭攀升的曲线:
“看这里!能量波动哪怕只有0.5%,在那个毫秒级的曝光窗口,就足以引发局部过曝,形成黑线!”
倪老浑浊的眼睛瞬间锐利起来,像鹰隼锁定了猎物。
他一把抓过报告,浑浊的目光紧紧锁住凯文指出的那处陡峭曲线。“0.5%?毫秒级窗口?”
他喃喃自语,眉头紧锁,“也就是说,我们现有的光刻胶配方和工艺控制精度,在1纳米尺度下,已经达到了理论极限的临界点?差的不是设备,是材料本身?”
凯文用力点头,汗水沿着额角滑落:
“是的!传统光刻胶的分子链结构在EUV高能光子冲击下的稳定性,在1纳米尺度下根本扛不住!”
“我们需要全新的材料!一种……一种能在这个能量密度和时间尺度下保持‘刚性’,又能被精确‘切断’的东西!”
整个区域的研究员们都围了过来,空气凝重得几乎能拧出水。
他们太清楚这意味着什么——这绝非简单的工艺微调,而是一场需要重构基础的材料学革命!时间,成了最奢侈也最致命的敌人。
倪老的目光扫过一张张年轻却写满焦虑和疲惫的脸。
他看到了绝望,但更深处的,是一种被逼到悬崖边的不甘和燃烧的斗志。
他深吸一口气,那口气仿佛吸进了整个戈壁的坚韧,干裂的嘴唇缓缓张开,声音不大,却像重锤砸在每个人的心头:
“极限?”
他嘴角扯出一个近乎桀骜的弧度:
“我们军垦人,生来就是用来打破极限的!旧的胶不行,就找新的!没有现成的?那就造出来!从分子结构开始设计!从原子层面开始组装!”
他猛地拍了一下身边冰冷的设备外壳,金属发出沉闷的回响:
“告诉材料组,放下手里所有项目!集中全部火力,给我攻这个光刻胶!理论基础、合成路径、性能模拟、快速验证……我要一条最短的路径!”
“后勤,给我联系国内所有顶尖的高分子材料实验室、有机合成研究所!调用一切资源!”
“凯文,你带计算组,全力配合材